pv是什么意思pv值怎么计算(干货|光学产品面精度)
pv是什么意思pv值怎么计算(干货|光学产品面精度)
今天我们来说说表面精度
面精度由最高点和最低点的”高低差”表示
。
通常,西格玛光学机的抛光产品
使用面精度表示法来表明产品的表面平整度。
面精度有两种类型:
反射波面精度和透射波面精度,
西格玛光机产品目录中显示的面精度为反射波面精度。
反射波面精度(以下简称 “面精度”)是
指在整个有效范围的表面上看,最高点(峰)与最低点(谷)之差,称为PV值(简称PV值)。
这个高度差用激光干涉仪光源的波长 “λ “表示为 “λ/4 “或 “λ/20″,用于表示面精度。
例如,西格玛光机目录中的面精度为λ/10,表明有效范围内的高度差在63.2nm以内。
这是因为激光干涉仪使用波长为632.8纳米的He-Ne激光作为光源。当使用PV值表示λ/10时,该值为0.1。
举个例子,假设有一块面精度为λ/10,直径为100mm的平面基板(对应于Sigma Optics的标准产品OFPXP-100C15-10),面精度测试波长为632.8nm(He-Ne)。
那么,把这个平面基板想象为直径100米的场地,那么它的表面上最高和最低点的差别为也仅仅为63um,也就是一张纸的厚度。
利用”牛顿环”计算面精度
通常,我们都使用干涉的方法来测量面精度。这是因为基板表面的高低差太小的缘故。
一个简单的方法是将光学平板与样品进行比较。
测量时看到的条纹称为牛顿环,根据条纹和条纹的距离和条纹的弯曲来计算面精度。
计算公式如下所示:
面精度 = 测量波长 / 2 x 干涉条纹的弯曲量/条纹和条纹之间的距离